يتم تصنيع أدوات طحن الماس بترسيب البخار الكيميائي (CVD-D)  عن طريق طلاء فيلم ماسي متعدد الكريستالات كمادة كاشطة.  تُستخدم طبقات أدوات طحن الماس CVD على نطاق واسع لمعالجة المواد الصلبة مثل السيراميك والسبائك والمركبات بسبب صلابتها الشديدة وكثافة الجسيمات العالية والتوزيع المنتظم للمواد الكاشطة وثبات الأبعاد الرائع والهيكل الخالي من المواد الرابطة . تستخدم أدوات الطحن CVD-D  على الزجاج والسيراميك للحصول على أسطح طحن بجودة بصرية. شين وآخرون. قام بتجميع ماسة بلورية مفردة جديدة CVD (SCD) واستكشف أداء الطحن في طحن الكريستال أحادي السيراميك SiC. ومع ذلك ، مع توسيع التطبيقات ، والقيود المفروضة على أدوات طحن CVD-D بسبب عدم وجود مساحة عقد رقاقة تستمر في الظهور.

لقد تم اقتراح أن تشكيل سطح منظم مناسب على سطح أداة الطحن  هو وسيلة فعالة لزيادة مساحة إخلاء الرقاقة وتعزيز إخلاء الرقاقة. تي سوتشيا وآخرون. صمم أداة طحن مع أخدود حلزوني على السطح لإخلاء الرقائق باستمرار والقضاء على تحميل الرقائق. L أنا وآخرون. وجدت أن عجلة طحن منظمة يمكن أن توفر مساحة أكبر للرقائق. وبالتالي ، يلعب السطح المهيكل دورًا مهمًا في تكييف المواد الكاشطة ، وفي الواقع ، ينعكس أيضًا في تحسين أداء المعالجة ، مثل قوى الطحن وحرارة الطحن. والتر وآخرون. تم تصنيع عجلة طحن منظمة مع مصفوفات ذات أخدود دقيق تعتمد على ليزر نبضي فائق القصر ووجدت انخفاضًا بنسبة 25-50٪ في قوى الطحن وتحسنًا كبيرًا في استقرار قوى الطحن. Tawakoli et al. ابتكرت عجلة طحن بتصميم هيكلي لعجلات طحن السطح. بالمقارنة مع عجلات الطحن التقليدية ، فإن العجلات المهيكلة لا تساعد فقط في تقليل قوى الطحن ، ولكن أيضًا تسهل تقليل الضرر الحراري أثناء الطحن الجاف. في عملنا السابق ، تم استخدام الأسطح ذات البنية المجهرية التي يبلغ حجمها عدة عشرات من الميكرونات لتحسين أداء طحن المواد الكاشطة CVD-D. تم تقليل قوة الطحن والأضرار الجوفية لسطح الطحن بشكل فعال. كانت هناك أيضًا بعض الأبحاث حول تصنيع "الجزيئات الكاشطة" على الماس القلبي الوعائي من خلال طرق الهيكلة. بتلر وآخرون. استخدم الليزر النبضي لتوليد هياكل على كتل الماس ذات الأغشية السميكة CVD وفحص أداء الطحن على سبائك التيتانيوم من وجهة نظر بلورية. وبالمثل ، فإن Qu et al. طورت أداة طحن خالية من الرابط عن طريق استئصال ليزر فيمتوثانية على رقاقة الماس CVD والتحقق من أن العمر الافتراضي للأداة كان مُرضيًا. في ملخص، تم تقليل قوة الطحن والأضرار الجوفية لسطح الطحن بشكل فعال. كانت هناك أيضًا بعض الأبحاث حول تصنيع "الجزيئات الكاشطة" على الماس القلبي الوعائي من خلال طرق الهيكلة. بتلر وآخرون. استخدم الليزر النبضي لتوليد هياكل على كتل الماس ذات الأغشية السميكة CVD وفحص أداء الطحن على سبائك التيتانيوم من وجهة نظر بلورية. وبالمثل ، فإن Qu et al. طورت أداة طحن خالية من الرابط عن طريق استئصال ليزر فيمتوثانية على رقاقة الماس CVD والتحقق من أن العمر الافتراضي للأداة كان مُرضيًا. في ملخص، تم تقليل قوة الطحن والأضرار الجوفية لسطح الطحن بشكل فعال. كانت هناك أيضًا بعض الأبحاث حول تصنيع "الجزيئات الكاشطة" على الماس القلبي الوعائي من خلال طرق الهيكلة. بتلر وآخرون. استخدم الليزر النبضي لتوليد هياكل على كتل الماس ذات الأغشية السميكة CVD وفحص أداء الطحن على سبائك التيتانيوم من وجهة نظر بلورية. وبالمثل ، فإن Qu et al. طورت أداة طحن خالية من الرابط عن طريق استئصال ليزر فيمتوثانية على رقاقة الماس CVD والتحقق من أن العمر الافتراضي للأداة كان مُرضيًا. في ملخص، استخدم الليزر النبضي لتوليد هياكل على كتل الماس ذات الأغشية السميكة CVD وفحص أداء الطحن على سبائك التيتانيوم من وجهة نظر بلورية. وبالمثل ، فإن Qu et al. طورت أداة طحن خالية من الرابط عن طريق استئصال ليزر فيمتوثانية على رقاقة الماس CVD والتحقق من أن العمر الافتراضي للأداة كان مُرضيًا. في ملخص، استخدم الليزر النبضي لتوليد هياكل على كتل الماس ذات الأغشية السميكة CVD وفحص أداء الطحن على سبائك التيتانيوم من وجهة نظر بلورية. وبالمثل ، فإن Qu et al. طورت أداة طحن خالية من الرابط عن طريق استئصال ليزر فيمتوثانية على رقاقة الماس CVD والتحقق من أن العمر الافتراضي للأداة كان مُرضيًا. في ملخص، تمت تجربة أدوات الطحن ذات البنية المجهرية  ودراستها على نطاق واسع مؤخرًا من منظور تحسين أداء الطحن. ومع ذلك ، لم يتم التحقيق في خصائص التآكل ، والتي تعد مؤشرات تقييم مهمة لأداء الأداة ، حتى الآن ، سواء بالنسبة لمواد كاشطة CVD ذات البنية الدقيقة أو غيرها من المواد الكاشطة الدقيقة ، على الرغم من أن العديد من العلماء قد ذكروا ضرورتها في دراساتهم. الأهم من ذلك ، وفقًا لملخص Li et al. على عجلات طحن محكم ، تعتبر هندسة الهياكل الدقيقة مهمة لأنها تؤثر على درجة حرارة الطحن والقوة ، وتآكل العجلة ، وخشونة سطح قطعة العمل ، وما إلى ذلك. لذلك ، من المهم دراسة تأثير معلمات البنية المجهرية على خصائص التآكل للأدوات الكاشطة.

لهذا الغرض ، تم فحص خصائص التآكل لمواد كاشطة CVD-D ذات البنية الدقيقة باستخدام مواد كاشطة CGDE ومواد كاشطة FGDMB. أولاً ، تم تصنيع ثلاث مواد كاشطة ذات بنية دقيقة مختلفة بواسطة تقنية الليزر الدقيقة. بعد ذلك ، تم وصف وتحليل تركيبة المواد الكاشطة CVD-D وارتداءها في مراحل الطحن المختلفة. أخيرًا ، تم فحص تأثيرات الأنماط المختلفة ، والعرض ، والنسب المئوية الهيكلية على معدل الطحن وقوة الطحن لأدوات الطحن CVD-D.